中欣晶圆申请晶圆去胶剥离设备及其控制方法专利, 能够避免出现残留死角
发布日期:2025-09-07 21:01 点击次数:71
金融界2025年8月23日消息,国家知识产权局信息显示,浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“晶圆去胶剥离设备及其控制方法”的专利,公开号CN120527269A,申请日期为2025年05月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆去胶剥离设备及其控制方法,涉及晶圆去胶技术领域,包括机架,所述机架上固定连接有浸泡腔体,所述承装组件滑动设置在所述浸泡腔体的内部,所述承装组件包括位于所述浸泡腔体内的承装盒,所述承装盒内两侧均转动连接有支撑板,两个所述支撑板之间固定连接有多个导杆,所述导杆上滑动连接有多个夹持轮,当所述支撑板转动时,所述夹持轮能够沿所述导杆轴向滑动,所述驱动组件设置在所述浸泡腔体的外侧,用于驱动所述承装组件进行移动和水平状态及竖直状态的转换,所述喷淋组件设置在所述浸泡腔体内,用于对所述承装组件进行喷淋。
天眼查资料显示,浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2021年,位于丽水市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本250000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目14次,专利信息60条,此外企业还拥有行政许可15个。
本文源自:金融界
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